• 傾斜校正（調(diào)平）：去除因樣品放置傾斜或基準(zhǔn)面不平引入的整體傾斜。軟件提供平面擬合（如最小二乘法）或三點(diǎn)定面等方式，計(jì)算并減去參考平面。

  
  

• 形狀去除：如果樣品本身具有已知的曲率（如球面、柱面），可以擬合并去除該基礎(chǔ)形狀，從而更清晰地觀察局部粗糙度或缺陷。

  
  

• 濾波處理：應(yīng)用數(shù)字濾波器分離表面不同空間頻率的成分或去除噪聲。

  
  

• 高斯濾波：遵循ISO 16610等標(biāo)準(zhǔn)，用于分離粗糙度、波紋度和形狀誤差成分。用戶可設(shè)置截止波長(zhǎng)，選擇分析特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的表面特征。

  
  

• 中值濾波/去噪：有效去除圖像中孤立的異常噪聲點(diǎn)，平滑數(shù)據(jù)。

  
  

• 無效數(shù)據(jù)修補(bǔ)：對(duì)于因表面反射率過低、陰影或遮擋導(dǎo)致信號(hào)丟失的區(qū)域（數(shù)據(jù)空洞），可使用鄰近數(shù)據(jù)插值算法進(jìn)行修補(bǔ)，獲得完整的形貌圖。

  
  

• 偽彩色高程圖：用不同顏色表示不同高度，是最直觀的顯示方式。

  
  

• 陰影渲染圖：模擬光源照射效果，增強(qiáng)三維立體感，突出紋理和細(xì)節(jié)。

  
  

• 等高線圖：顯示表面等高線，有助于判斷坡度變化和整體形狀。

  
  

• 任意剖面視圖：允許用戶在任何位置和方向“剖切"三維數(shù)據(jù)，觀察內(nèi)部截面形貌。

  
  

• 輪廓線提取：在三維圖上任意繪制線段，軟件即可生成該路徑上的二維高度輪廓曲線。

  
  

• 輪廓參數(shù)測(cè)量：直接在輪廓曲線上測(cè)量水平距離、垂直高度（臺(tái)階高度）、角度、曲率半徑等幾何尺寸。

  
  

• 線粗糙度參數(shù)計(jì)算：按照ISO 4287等線粗糙度標(biāo)準(zhǔn)，計(jì)算輪廓算術(shù)平均偏差Ra、輪廓最大高度Rz、輪廓單元平均寬度RSm等參數(shù)。這對(duì)于需要與傳統(tǒng)接觸式輪廓儀數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比的場(chǎng)合尤其有用。

  
  

• 高度參數(shù)：描述表面在垂直方向上的偏差統(tǒng)計(jì)特征。

  
  

• Sa：算術(shù)平均高度。zui 常用的三維粗糙度參數(shù)，是表面各點(diǎn)與平均面高度偏差絕對(duì)值的算術(shù)平均。

  
  

• Sq：均方根高度。

  
  

• Sz：表面最大高度（最高峰與最di 谷的差值）。

  
  

• Ssk：偏度。描述高度分布的不對(duì)稱性。

  
  

• Sku：峰度。描述高度分布的尖銳程度。

  
  

• 空間參數(shù)：描述表面紋理的橫向分布特性。

  
  

• Sal：自相關(guān)長(zhǎng)度。描述表面紋理特征在空間上的平均長(zhǎng)度。

  
  

• Str：紋理縱橫比。描述紋理的方向性（各向同性或各向異性）。

  
  

• 功能參數(shù)：模擬表面在特定功能應(yīng)用中的行為。

  
  

• 表面支承面積率曲線：計(jì)算在不同深度截面上，材料面積與投影面積的比值。對(duì)于研究摩擦、磨損、密封和潤(rùn)滑性能非常重要。

  
  

• Sk, Spk, Svk：核心粗糙度深度、峰值高度、谷值深度，將表面分為不同的功能區(qū)域進(jìn)行分析。

  
  

• 點(diǎn)、線、面測(cè)量：直接測(cè)量任意兩點(diǎn)間的三維距離、空間角度、直線長(zhǎng)度、平面面積和傾斜度。

  
  

• 體積與面積測(cè)量：計(jì)算特定區(qū)域相對(duì)于某一基準(zhǔn)平面的材料體積（如凹坑容積、顆粒體積、磨損量）和真實(shí)表面積。

  
  

• 臺(tái)階高度/薄膜厚度測(cè)量：通過定義上、下兩個(gè)參考平面，自動(dòng)計(jì)算其垂直距離，這是測(cè)量薄膜厚度或刻蝕深度的常用方法。

  
  

• 多區(qū)域/多特征統(tǒng)計(jì)：對(duì)同一表面的多個(gè)相同特征（如多個(gè)焊點(diǎn)、顆粒）進(jìn)行測(cè)量，自動(dòng)計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、最大值、最小值等統(tǒng)計(jì)量。

  
  

• 數(shù)據(jù)分布分析：生成表面高度值的概率分布直方圖。

  
  

• 批處理與自動(dòng)報(bào)告：用戶可以創(chuàng)建測(cè)量“配方"，對(duì)多個(gè)樣品或同一樣品的多個(gè)位置進(jìn)行自動(dòng)順序測(cè)量、分析和報(bào)告生成，大大提高重復(fù)性檢測(cè)的效率。

  
  

ZYGO ZeGage Pro數(shù)據(jù)分析功能詳述