共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴展功能
基礎(chǔ)的S lynx2系統(tǒng)已經(jīng)提供了共聚焦和白光干涉兩種核心測量模式。為了應(yīng)對更廣泛或更特殊的測量需求，該平臺通常支持一些擴展功能和配件，以增強其應(yīng)用能力。
1. 大范圍掃描與圖像拼接：
標(biāo)準(zhǔn)物鏡的單次掃描視場是有限的。對于需要測量超出單視場范圍的大面積樣品（如大尺寸光學(xué)元件、平板顯示器局部、機械密封面等），可以使用軟件的大范圍掃描和圖像拼接功能。
工作原理：通過高精度的電動載物臺，控制樣品在X和Y方向規(guī)則移動，按網(wǎng)格順序依次測量多個相鄰區(qū)域。軟件隨后自動將這些區(qū)域的測量數(shù)據(jù)，根據(jù)重疊區(qū)域的特征進行識別和對齊，拼接成一幅完整、無縫的大尺寸三維形貌圖。
應(yīng)用價值：可以在保持高分辨率的同時，評估大面積區(qū)域的整體平整度、粗糙度分布、缺陷的宏觀分布等，而不會遺漏跨視場的特征。
2. 高速掃描模式：
對于需要快速進行大量樣品檢測或在線監(jiān)控的應(yīng)用，某些配置或模式可能提供更高的掃描速度。
3. 高動態(tài)范圍（HDR）干涉測量：
當(dāng)樣品表面同時存在高反射率區(qū)域（如金屬）和低反射率區(qū)域（如深色材料）時，標(biāo)準(zhǔn)白光干涉模式可能難以同時獲得良好的信號。高動態(tài)范圍技術(shù)通過組合不同曝光時間下采集的多幅干涉圖，擴展探測器的有效動態(tài)范圍。
4. 膜厚測量模式：
對于透明或半透明薄膜（如氧化物薄膜、光刻膠、涂層），標(biāo)準(zhǔn)的形貌測量通常只能得到上表面形貌。專用的薄膜厚度測量模式，利用白光干涉的垂直掃描干涉原理，分析從薄膜上表面和下表面反射光產(chǎn)生的干涉信號，可以非接觸地測量薄膜厚度。
5. 電動傾斜臺：
標(biāo)準(zhǔn)測量要求樣品表面大致垂直于光軸。對于具有固定傾角或需要測量特定傾斜面的樣品，可以配備電動傾斜樣品臺。該樣品臺可以精確地傾斜和旋轉(zhuǎn)樣品，將待測面調(diào)整到適合測量的方向。
6. 環(huán)境隔離與特殊樣品臺：
隔振臺或主動隔振系統(tǒng)：對于環(huán)境振動敏感的高精度測量，可以提供更好的穩(wěn)定性。
溫控樣品臺：用于研究溫度變化對樣品表面形貌的影響，或在恒溫條件下進行測量。
真空或氣氛控制樣品室：用于測量在空氣中易氧化、潮解或需要特殊氣氛保護的樣品。
7. 專用分析軟件模塊：
除了標(biāo)準(zhǔn)分析包，可能還提供針對特定行業(yè)或應(yīng)用的高級分析模塊，例如：
這些擴展功能并非標(biāo)準(zhǔn)配置，用戶在選型或后續(xù)升級時，可以根據(jù)自身的具體測量需求（如樣品尺寸、測量速度、特殊樣品特性、環(huán)境要求等）向供應(yīng)商咨詢，選擇適合的配件和軟件模塊，從而將共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2的應(yīng)用潛力進一步拓展到更專業(yè)的領(lǐng)域。
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 擴展功能
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