共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 軟件分析功能
S lynx2配套的測量分析軟件是將原始光學(xué)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可視化結(jié)果和量化信息的關(guān)鍵。該軟件通常集成了從數(shù)據(jù)采集、處理到分析報告的全套工具,旨在提供較為完整的表面計(jì)量解決方案。
1. 數(shù)據(jù)采集與掃描控制:
軟件提供圖形化界面來控制硬件,包括選擇物鏡、調(diào)節(jié)光源亮度、設(shè)置掃描范圍與步長、選擇測量模式(共聚焦/干涉)等。實(shí)時預(yù)覽窗口幫助用戶定位測量區(qū)域和對焦。可設(shè)置多點(diǎn)、多區(qū)域的自動測量序列,提高批量檢測效率。
2. 三維形貌可視化與處理:
3. 二維剖面與輪廓分析:
輪廓提取:用戶可以在三維形貌圖上任意位置畫一條線,軟件立即提取并顯示該線的二維截面輪廓曲線。
輪廓分析:對輪廓曲線進(jìn)行詳細(xì)分析,可測量臺階高度、角度、曲率半徑、水平距離等??梢园凑誌SO 4287等線粗糙度標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算Ra, Rz, Rq等參數(shù)。
4. 三維表面紋理與粗糙度分析:
這是軟件的核心分析模塊之一,遵循ISO 25178等面粗糙度國際標(biāo)準(zhǔn)。用戶可以選擇一個或多個矩形或任意形狀區(qū)域,軟件自動計(jì)算一系列三維表面紋理參數(shù),例如:
高度參數(shù):如算術(shù)平均高度Sa、均方根高度Sq、最大高度Sz等,描述表面的垂直起伏。
空間參數(shù):如紋理方向、紋理對比度等,描述表面紋理的分布特性。
功能參數(shù):如表面承載面積比曲線、峰頂體積等,用于研究表面的摩擦、磨損、密封等功能特性。
5. 幾何尺寸測量:
軟件提供豐富的幾何測量工具,可以直接在三維形貌圖或二維視圖上進(jìn)行:
點(diǎn)、線、面測量:測量兩點(diǎn)間三維距離、空間角度、直線的長度和方向、平面的面積和傾斜度。
體積與面積測量:計(jì)算指定區(qū)域上方或下方的體積(如凹坑容積、凸起物體積)、表面積、投影面積等。這對于分析材料磨損量、涂層用量、孔隙率等有用。
臺階高度與薄膜厚度:通過定義基準(zhǔn)平面和測量平面,自動計(jì)算臺階高度或薄膜厚度(需樣品有清晰臺階)。
6. 統(tǒng)計(jì)分析與批量處理:
多區(qū)域統(tǒng)計(jì):對同一表面的多個相同特征(如多個焊點(diǎn)、顆粒)進(jìn)行測量,自動計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、最大值、最小值等統(tǒng)計(jì)量。
批量報告:對于按序列測量的多個樣品或區(qū)域,可以自動生成匯總報告,包含所有測量結(jié)果和統(tǒng)計(jì)信息。
數(shù)據(jù)比較:可以將不同批次或不同工藝處理的樣品測量數(shù)據(jù)進(jìn)行比對分析。
7. 數(shù)據(jù)輸出與報告生成:
數(shù)據(jù)導(dǎo)出:三維形貌數(shù)據(jù)、二維輪廓數(shù)據(jù)、測量結(jié)果等可以導(dǎo)出為通用的ASCII, CSV, Excel等格式,方便導(dǎo)入到SPC(統(tǒng)計(jì)過程控制)系統(tǒng)或其他專業(yè)分析軟件。
圖像導(dǎo)出:三維視圖、二維圖像可以保存為圖片格式(如PNG, JPEG, BMP)。
自定義報告:用戶可以利用內(nèi)置的報告編輯器,將選定的圖像、圖表、數(shù)據(jù)表格和文本說明組合成結(jié)構(gòu)化的測量報告,模板可定制,并導(dǎo)出為PDF或Word文檔。
通過這套集成的軟件分析功能,S lynx2的用戶不僅能夠“看到"表面形貌,更能對其進(jìn)行深入的量化表征和統(tǒng)計(jì)分析,從而為質(zhì)量判定、工藝優(yōu)化和科學(xué)研究提供客觀的數(shù)據(jù)支持。
共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 軟件分析功能