ZYGO 與聚焦變焦技術(shù)的原理對(duì)比

1. ZYGO ZeGage Pro（白光干涉垂直掃描 - VSI）：

   
   

• 原理核心：利用白光寬光譜的短相干特性。當(dāng)從樣品表面反射的光與參考鏡反射的光的光程差為零時(shí)，才會(huì)產(chǎn)生高對(duì)比度的干涉條紋。通過垂直掃描樣品或物鏡，探測(cè)器記錄下每個(gè)像素點(diǎn)光強(qiáng)隨掃描位置變化的曲線，該曲線出現(xiàn)峰值時(shí)對(duì)應(yīng)的掃描位置即為該點(diǎn)的表面高度。它是一種相干的、基于干涉的光學(xué)方法。

  
  

• 垂直分辨率：極gao，可達(dá)亞納米級(jí)，尤其在測(cè)量光滑連續(xù)表面時(shí)。

  
  

• 橫向分辨率：受光學(xué)衍射極限限制，約為0.3-0.5微米（依賴于物鏡NA）。

  
  

• 測(cè)量范圍：垂直范圍大，從納米到數(shù)毫米。

  
  

• 測(cè)量速度：對(duì)于中等面積，速度很快。

  
  

2. 聚焦變焦技術(shù)：

   
   

• 原理核心：是一種非相干的、基于幾何光學(xué)的景深擴(kuò)展方法。系統(tǒng)通過垂直掃描，在每一個(gè)掃描高度采集一幅具有有限景深的清晰聚焦圖像。軟件算法分析每一幅圖像中每個(gè)像素的聚焦清晰度（通過對(duì)比度、梯度等函數(shù)計(jì)算），找到該像素最清晰對(duì)焦時(shí)所對(duì)應(yīng)的掃描高度，即為該點(diǎn)的表面高度。它本質(zhì)上是將一系列2D光學(xué)切片合成為3D形貌。

  
  

• 垂直分辨率：較低，通常在納米到百納米級(jí)，取決于物鏡景深和算法。

  
  

• 橫向分辨率：同樣受光學(xué)衍射極限限制，與同級(jí)物鏡的白光干涉儀相當(dāng)。

  
  

• 測(cè)量范圍：垂直范圍很大，可達(dá)毫米級(jí)甚至更大。

  
  

• 測(cè)量速度：通常比VSI慢，因?yàn)樾枰诿總€(gè)高度采集全幅圖像并進(jìn)行大量清晰度計(jì)算。

  
  

• 選擇ZYGO ZeGage Pro (VSI)：當(dāng)您的主要任務(wù)是測(cè)量光滑表面的納米級(jí)粗糙度、亞納米級(jí)臺(tái)階高度、超精密面形，且樣品光學(xué)反射性較好時(shí)。它是光學(xué)、半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、MEMS等行業(yè)的黃金標(biāo)準(zhǔn)。

  
  

• 選擇聚焦變焦技術(shù)：當(dāng)您需要測(cè)量極其粗糙、有復(fù)雜幾何形狀、大深寬比結(jié)構(gòu)的樣品（如機(jī)加工零件、增材制造件、巖石、牙齒），且對(duì)納米級(jí)分辨率要求不高時(shí)。它在汽車、重工、地質(zhì)、牙科等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

  
  

ZYGO 與聚焦變焦技術(shù)的原理對(duì)比