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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀SENSOFAR共聚焦白光干涉儀白光干涉儀S neox的5軸測量意義
產(chǎn)品簡介
白光干涉儀S neox的5軸測量意義：Sensofar S neox的5軸測量系統(tǒng)通過傾斜與旋轉(zhuǎn)樣品臺，使復(fù)雜表面的目標(biāo)區(qū)域始終垂直對焦，實現(xiàn)對傾斜面、側(cè)壁等特征的精確三維形貌測量。
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白光干涉儀S neox的5軸測量意義
在三維表面測量中，一個常見的挑戰(zhàn)是如何精確測量具有復(fù)雜幾何形狀的樣品，例如傾斜的平面、柱狀體的側(cè)面或球面的特定區(qū)域。傳統(tǒng)的三軸（X, Y, Z）測量系統(tǒng)在測量這些非水平表面時，可能因樣品表面與物鏡光軸不垂直而導(dǎo)致信號質(zhì)量下降或無法測量。Sensofar S neox提供的5軸測量能力，為應(yīng)對這一挑戰(zhàn)提供了更多靈活性。
5軸系統(tǒng)通常指三個線性軸（X, Y, Z）和兩個旋轉(zhuǎn)軸（傾斜和旋轉(zhuǎn)）。S neox的集成式5軸系統(tǒng)允許樣品臺不僅能在平面內(nèi)移動和垂直掃描，還能進行精密的傾斜和旋轉(zhuǎn)調(diào)整。
這種設(shè)計的直接好處是，用戶可以通過調(diào)整樣品的傾斜和旋轉(zhuǎn)角度，使待測的復(fù)雜表面區(qū)域與物鏡的光軸保持垂直。例如，在測量一個微切削工具的刃口時，可以通過傾斜樣品臺，將刃口的一個特定斜面調(diào)整到最佳測量位置。這對于獲取陡峭側(cè)壁的完整、準(zhǔn)確形貌信息尤為重要，因為垂直入射的光線能獲得的信號和最高的分辨率。
白光干涉儀S neox的5軸測量意義
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