Sensofar白光干涉輪廓儀為光學(xué)檢測量身打造

產(chǎn)品簡介

Sensofar白光干涉輪廓儀為光學(xué)檢測量身打造S neox針對光學(xué)元件檢測配備專屬附件，包括0.65X Michelson物鏡，能以大視野快速測量平面度。

產(chǎn)品型號：S neox

更新時間：2026-01-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：189

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar白光干涉輪廓儀為光學(xué)檢測量身打造

Sensofar白光干涉輪廓儀為光學(xué)檢測量身打造

S neox針對光學(xué)元件檢測配備專屬附件，包括0.65X Michelson物鏡，能以大視野快速測量平面度。機(jī)身采用防光干擾設(shè)計(jì)，外殼啞光處理減少雜散光，內(nèi)部光學(xué)通道經(jīng)過遮光優(yōu)化。檢測平臺配備真空吸附裝置，可穩(wěn)固固定透鏡、棱鏡等光滑樣品，避免夾持變形。軟件內(nèi)置光學(xué)元件專用模板，包含曲率半徑、面型誤差等參數(shù)的一鍵分析功能。

二、性能聚焦：面型與粗糙度精準(zhǔn)捕捉

干涉模式下的 PSI 技術(shù)能實(shí)現(xiàn)亞納米級縱向分辨率，搭配低倍率物鏡可在大視野下保持高精度，適合透鏡面型檢測。共聚焦模式配合 150x 高倍率物鏡，能測量光學(xué)表面＞70° 的局部斜面。針對高反射樣品，采用抗反射涂層鏡頭，減少光線反射干擾，提升成像質(zhì)量。檢測數(shù)據(jù)符合 ISO 12775 標(biāo)準(zhǔn)，可直接用于光學(xué)元件質(zhì)量評估。

三、用材與穩(wěn)定性保障

光學(xué)鏡頭選用高均勻性光學(xué)玻璃，經(jīng)過多輪研磨與鍍膜，確保不同區(qū)域透光率一致。設(shè)備框架采用高強(qiáng)度鋁合金，配合底部減震腳墊，能降低環(huán)境振動對檢測的影響。樣品臺真空吸附裝置的材質(zhì)為惰性橡膠，不會與光學(xué)元件表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保障樣品潔凈。

四、操作流程與應(yīng)用場景

以透鏡面型誤差檢測為例：1. 將透鏡通過真空吸附固定在平臺上，對準(zhǔn) 0.65X 物鏡；2. 打開 SensoSCAN 軟件，選擇 “光學(xué)面型分析" 模塊；3. 設(shè)置掃描區(qū)域與分辨率，啟動干涉檢測；4. 完成后軟件自動計(jì)算 PV（峰谷值）、Rq（均方根偏差）等參數(shù)，生成 3D 面型圖。該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于透鏡、棱鏡、反射鏡等光學(xué)元件的面型誤差、粗糙度檢測，以及光學(xué)薄膜厚度均勻性測量。

五、核心參數(shù)簡表

項(xiàng)目	規(guī)格
專屬物鏡	0.65X Michelson 物鏡
縱向分辨率	亞納米級（干涉模式）
斜面測量能力	＞70°（光滑表面）
檢測標(biāo)準(zhǔn)	符合 ISO 12775 標(biāo)準(zhǔn)
樣品固定方式	真空吸附 + 機(jī)械夾具
報告參數(shù)	PV、Rq、曲率半徑等