Sensofar 三維共聚焦白光干涉輪廓儀概覽?

產(chǎn)品簡介

Sensofar 三維共聚焦白光干涉輪廓儀概覽?
Sensofar LIN系列是面向工業(yè)與實(shí)驗(yàn)室環(huán)境設(shè)計(jì)的經(jīng)濟(jì)型三維光學(xué)輪廓儀。該系列儀器將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種技術(shù)集成于一體，提供了在納米至毫米量程范圍內(nèi)進(jìn)行非接觸式三維形貌測(cè)量的解決方案。其設(shè)計(jì)注重操作的便捷性和測(cè)量的穩(wěn)定性，適用于質(zhì)量控制、研發(fā)分析等多種場(chǎng)景。

產(chǎn)品型號(hào)：LIN

更新時(shí)間：2026-01-06

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：302

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar 三維共聚焦白光干涉輪廓儀概覽

Sensofar LIN系列是面向工業(yè)與實(shí)驗(yàn)室環(huán)境設(shè)計(jì)的經(jīng)濟(jì)型三維光學(xué)輪廓儀。該系列儀器將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）兩種技術(shù)集成于一體，提供了在納米至毫米量程范圍內(nèi)進(jìn)行非接觸式三維形貌測(cè)量的解決方案。其設(shè)計(jì)注重操作的便捷性和測(cè)量的穩(wěn)定性，適用于質(zhì)量控制、研發(fā)分析等多種場(chǎng)景。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用途

LIN系列的核心特點(diǎn)在于其雙技術(shù)引擎。共聚焦技術(shù)適用于測(cè)量陡峭側(cè)壁和粗糙表面，而白光干涉技術(shù)則在測(cè)量平坦或輕微起伏的超光滑表面時(shí)表現(xiàn)出色。用戶可根據(jù)樣本特性在軟件中切換測(cè)量模式，或使用自動(dòng)模式由軟件智能選擇。儀器主體采用橋式結(jié)構(gòu)，樣本臺(tái)位于中心，保證了測(cè)量的穩(wěn)定性。其主要用途包括微電子元件（如硅片、MEMS）、精密光學(xué)元件、材料表面（涂層、薄膜、粗糙度）等的三維形貌、臺(tái)階高度、粗糙度等參數(shù)的測(cè)量。

產(chǎn)品性能與用材

LIN系列的測(cè)量性能體現(xiàn)在其寬泛的垂直量程和橫向分辨率上。橋式框架通常采用剛性較好的金屬材料，以抑制環(huán)境振動(dòng)和熱漂移的影響。樣本臺(tái)多為鋼或合金材質(zhì)，表面進(jìn)行處理以保證平整度。光學(xué)部件，如物鏡和參考鏡，被密封在受控的環(huán)境中，以減少空氣流動(dòng)和溫度波動(dòng)對(duì)干涉測(cè)量結(jié)果的干擾。儀器的設(shè)計(jì)考慮了在常規(guī)實(shí)驗(yàn)室或車間環(huán)境下保持穩(wěn)定工作的能力。

參數(shù)表（示例：LIN 基礎(chǔ)型號(hào))

測(cè)量技術(shù)：共聚焦 + 白光干涉垂直掃描 (VSI)
垂直量程：最高可達(dá)10 mm (共聚焦)，數(shù)毫米 (VSI)
橫向分辨率：與所選物鏡相關(guān)，可達(dá)亞微米級(jí)
垂直分辨率：亞納米級(jí) (VSI 模式)
物鏡轉(zhuǎn)盤：通常配置4-5個(gè)物鏡，自動(dòng)切換
樣品臺(tái)：尺寸約 200 x 200 mm，手動(dòng)或電動(dòng)控制

使用說明要點(diǎn)

操作LIN系列輪廓儀，首先需將樣本平穩(wěn)放置于樣品臺(tái)。啟動(dòng)配套的SensoMAP軟件，根據(jù)樣本表面特性選擇合適的物鏡和測(cè)量模式（共聚焦或VSI）。通過軟件控制鏡頭聚焦，找到清晰圖像后，設(shè)定垂直掃描的起始和結(jié)束位置。隨后啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量程序，儀器將完成掃描并重建三維形貌。最后，利用軟件內(nèi)置的分析工具進(jìn)行粗糙度、臺(tái)階高度、體積等參數(shù)的提取。

總結(jié)

Sensofar LIN系列通過集成兩種光學(xué)測(cè)量技術(shù)，提供了一個(gè)適應(yīng)多種測(cè)量需求的經(jīng)濟(jì)型平臺(tái)。其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料選擇著眼于日常使用的穩(wěn)定性和易用性，為表面形貌分析工作提供了支持。