Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽

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Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽
Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測(cè)量模式于一體的三維光學(xué)輪廓儀，適用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)線的表面形貌檢測(cè)。

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更新時(shí)間：2026-01-06

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三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽

Sensofar?S?neox 是一款集共聚焦、白光干涉和多焦面疊加三種測(cè)量模式于一體的三維光學(xué)輪廓儀，適用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)線的表面形貌檢測(cè)。儀器采用垂直掃描干涉（VSI）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的縱向分辨率（0.1?nm）和微米級(jí)的橫向分辨率（0.3?µm）。在共聚焦模式下，橫向分辨率可進(jìn)一步提升至0.10?µm，能夠解析高數(shù)值孔徑（NA?0.95）物鏡下的細(xì)微結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)配備 125?mm?×?75?mm 的 XY 平臺(tái)，支持 4?–?12?英寸的樣品尺寸，便于大面積或大尺寸工件的快速定位與測(cè)量。高速掃描能力達(dá) 180?fps，單次全場(chǎng)掃描時(shí)間可控制在 3?秒以內(nèi)，顯著提升批量檢測(cè)效率。整體設(shè)計(jì)采用工程塑料機(jī)身、金屬支撐結(jié)構(gòu)和高品質(zhì)光學(xué)玻璃光學(xué)元件，兼顧輕量化、抗沖擊和光學(xué)穩(wěn)定性。

Sensofar S?neox共聚焦白光干涉儀概覽

共聚焦模式：利用高 NA 物鏡實(shí)現(xiàn) 0.10?µm 橫向分辨率，支持最高 86° 的傾斜角測(cè)量，適合金屬模具、陶瓷基板等陡坡表面的三維重建。
白光干涉模式：通過(guò)波長(zhǎng)掃描與相干門(mén)控實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)縱向分辨率（0.1?nm），可對(duì)光學(xué)鏡片、薄膜等超光滑表面進(jìn)行無(wú)接觸測(cè)量，且具備抗振動(dòng)技術(shù)提升測(cè)量可靠性。
多焦面疊加（MFI）模式：在單次掃描中疊加多個(gè)焦平面，最大測(cè)量深度可達(dá) 8?mm，掃描速度保持在 3?mm/s，滿足大粗糙度或厚膜樣品的快速測(cè)量需求。
系統(tǒng)通過(guò)自適應(yīng)光學(xué)引擎自動(dòng)調(diào)節(jié)光源波長(zhǎng)、入射角度和算法參數(shù)，實(shí)現(xiàn)模式間的智能切換，降低操作復(fù)雜度。

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