Sensofar 光學(xué)輪廓儀：理解數(shù)據(jù)背后的意義

產(chǎn)品簡介

Sensofar 光學(xué)輪廓儀：理解數(shù)據(jù)背后的意義
S neox 的各項參數(shù)不僅是設(shè)備性能的體現(xiàn)，更與實際測量需求緊密相關(guān)，理解參數(shù)含義能幫助用戶更好地選擇測量模式與設(shè)置參數(shù)。

產(chǎn)品型號：S neox

更新時間：2026-01-06

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：238

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar 光學(xué)輪廓儀：理解數(shù)據(jù)背后的意義

S neox 的各項參數(shù)不僅是設(shè)備性能的體現(xiàn)，更與實際測量需求緊密相關(guān)，理解參數(shù)含義能幫助用戶更好地選擇測量模式與設(shè)置參數(shù)。橫向分辨率作為關(guān)鍵參數(shù)之一，在 100x 物鏡下為 0.12μm，該參數(shù)代表設(shè)備能分辨的樣品表面最小橫向特征尺寸，例如在檢測半導(dǎo)體芯片線路時，0.12μm 的橫向分辨率可清晰呈現(xiàn)線寬為 0.2μm 的線路結(jié)構(gòu)，滿足精細(xì)線路的檢測需求；若選用 2.5x 物鏡，橫向分辨率為 4.8μm，適合大尺寸樣品的快速掃描與宏觀輪廓觀察。

縱向分辨率 0.1nm（白光干涉模式）代表設(shè)備對樣品表面高度變化的最小探測能力，該參數(shù)在超光滑表面測量中尤為重要，如測量光學(xué)鏡片的面型誤差時，0.1nm 的縱向分辨率可捕捉納米級的面型起伏，為鏡片加工精度評估提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)；而在粗糙表面測量中，可適當(dāng)降低縱向分辨率要求，通過提升掃描速度提高檢測效率。

Sensofar 光學(xué)輪廓儀：理解數(shù)據(jù)背后的意義

掃描深度參數(shù)（單次最大 8mm，多焦面疊加模式）決定了設(shè)備可測量的樣品表面高度范圍，對于表面起伏較大的樣品，如模具型腔、增材制造零件，8mm 的掃描深度能完整覆蓋樣品表面的高度變化，無需分區(qū)域多次掃描，減少拼接誤差；若樣品表面較為平整，如半導(dǎo)體晶圓，可選擇較小的掃描深度，縮短測量時間。傳感器幀率 180 幀 / 秒代表設(shè)備每秒采集圖像的數(shù)量，高幀率適合動態(tài)過程監(jiān)測，如觀察液體蒸發(fā)過程中樣品表面的形貌變化，能捕捉到快速變化的細(xì)節(jié)；在靜態(tài)樣品測量中，可降低幀率以減少數(shù)據(jù)量，提升數(shù)據(jù)處理速度。

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