在精密制造、半導(dǎo)體加工等對(duì)測(cè)量效率和精度要求較高的領(lǐng)域，全自動(dòng)臺(tái)階儀成為提升工作質(zhì)量的重要設(shè)備。JS2000B 全自動(dòng)臺(tái)階儀憑借自動(dòng)化操作、穩(wěn)定的性能表現(xiàn)，為批量樣品的臺(tái)階高度、薄膜厚度等參數(shù)測(cè)量提供了高效解決方案，適合對(duì)測(cè)量流程有標(biāo)準(zhǔn)化要求的場(chǎng)景。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)：自動(dòng)化設(shè)計(jì)提升操作體驗(yàn)
JS2000B 的機(jī)身采用合金框架與鑄鋁底座組合結(jié)構(gòu)，整體穩(wěn)定性強(qiáng)，表面經(jīng)過(guò)防靜電處理，能減少環(huán)境干擾。設(shè)備前端配備 15 英寸觸控顯示屏，操作界面包含測(cè)量程序設(shè)置、數(shù)據(jù)查看、設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控等模塊，圖標(biāo)清晰，觸控響應(yīng)靈敏，操作人員可快速完成參數(shù)設(shè)置。
測(cè)量平臺(tái)為大理石材質(zhì)，平面度誤差小，尺寸達(dá) 200mm×150mm，可同時(shí)放置多個(gè)樣品。平臺(tái)下方配備伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的 XY 軸移動(dòng)系統(tǒng)，移動(dòng)范圍為 150mm×100mm，定位精度達(dá)微米級(jí)，能自動(dòng)將樣品的待測(cè)區(qū)域移至測(cè)頭下方。平臺(tái)邊緣設(shè)有樣品定位槽，配合氣動(dòng)夾具可快速固定不同尺寸的樣品，減少裝夾時(shí)間。
測(cè)頭系統(tǒng)采用一體化設(shè)計(jì)，測(cè)頭針尖為天然金剛石，半徑≤1μm，安裝在 Z 軸精密導(dǎo)軌上。Z 軸驅(qū)動(dòng)采用壓電陶瓷電機(jī)，升降精度達(dá)納米級(jí)，能精準(zhǔn)控制測(cè)頭與樣品表面的接觸力度。設(shè)備內(nèi)部集成了光學(xué)定位裝置，可通過(guò)攝像頭捕捉樣品表面標(biāo)記點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)測(cè)量位置的自動(dòng)識(shí)別與定位。
設(shè)備后部設(shè)有 USB、以太網(wǎng)等數(shù)據(jù)接口，支持與電腦、打印機(jī)連接，方便數(shù)據(jù)導(dǎo)出和報(bào)告生成。內(nèi)置的散熱風(fēng)扇采用智能溫控設(shè)計(jì)，僅在設(shè)備溫度較高時(shí)啟動(dòng)，減少運(yùn)行噪音。
產(chǎn)品性能：自動(dòng)化流程保障測(cè)量穩(wěn)定性
JS2000B 的測(cè)量范圍為 0-1000μm，最小分辨力達(dá) 0.1nm，能滿(mǎn)足從微米到納米級(jí)的臺(tái)階測(cè)量需求。在重復(fù)性方面，對(duì)同一標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階進(jìn)行 10 次測(cè)量，偏差值較小，適合作為批量生產(chǎn)中的質(zhì)量控制設(shè)備。
設(shè)備的自動(dòng)化測(cè)量流程包含自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找點(diǎn)、自動(dòng)測(cè)量、數(shù)據(jù)記錄等環(huán)節(jié)，單次測(cè)量周期可控制在 30 秒以?xún)?nèi)，大幅提升了測(cè)量效率。測(cè)頭測(cè)力可通過(guò)軟件設(shè)置，范圍為 5-100mN，調(diào)節(jié)步長(zhǎng) 1mN，能適應(yīng)從柔軟薄膜到硬質(zhì)合金的多種樣品。
測(cè)量過(guò)程中，設(shè)備會(huì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)測(cè)頭狀態(tài)和樣品位置，若出現(xiàn)測(cè)頭異?；驑悠菲?，會(huì)自動(dòng)暫停并發(fā)出提示，避免設(shè)備損壞和數(shù)據(jù)錯(cuò)誤。設(shè)備支持多組測(cè)量程序存儲(chǔ)，操作人員可針對(duì)不同樣品預(yù)設(shè)測(cè)量參數(shù)，下次使用時(shí)直接調(diào)用，減少重復(fù)設(shè)置時(shí)間。
在環(huán)境適應(yīng)性方面，JS2000B 能在溫度 20±2℃、濕度 40%-60% 的環(huán)境中穩(wěn)定工作，配合設(shè)備自帶的溫度補(bǔ)償功能，可減少環(huán)境溫度波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
用材、參數(shù)與用途
JS2000B 的關(guān)鍵部件選用高精度材料，測(cè)頭桿為鎢合金材質(zhì)，剛性好且熱膨脹系數(shù)??；XY 軸導(dǎo)軌采用精密滾珠絲杠，配合花崗巖導(dǎo)軌基座，保證移動(dòng)精度；Z 軸壓電陶瓷電機(jī)響應(yīng)速度快，位移分辨率高；觸控顯示屏為工業(yè)級(jí)，抗干擾能力強(qiáng)，適合車(chē)間環(huán)境使用。
部分參數(shù)如下：
該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件加工、精密模具等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體行業(yè)，可測(cè)量芯片上金屬布線(xiàn)的臺(tái)階高度、氧化層厚度；光學(xué)領(lǐng)域用于檢測(cè)鏡片鍍膜的厚度均勻性；精密模具加工中，能檢測(cè)模具型腔表面的微小臺(tái)階和粗糙度關(guān)聯(lián)參數(shù)，為加工精度控制提供數(shù)據(jù)支持。
使用說(shuō)明
使用前需檢查設(shè)備供電和接地是否正常，開(kāi)機(jī)后設(shè)備會(huì)進(jìn)行自檢，約 3 分鐘后進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。將樣品放置在測(cè)量平臺(tái)的定位槽內(nèi)，啟動(dòng)氣動(dòng)夾具固定樣品，通過(guò)顯示屏上的攝像頭預(yù)覽畫(huà)面，框選需要測(cè)量的區(qū)域，或調(diào)用預(yù)設(shè)的測(cè)量程序。
在軟件中設(shè)置測(cè)量參數(shù)：包括測(cè)力大小、采樣點(diǎn)數(shù)、移動(dòng)速度等，點(diǎn)擊 “開(kāi)始測(cè)量" 后，設(shè)備會(huì)自動(dòng)完成定位、測(cè)量、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等操作。測(cè)量完成后，可在屏幕上查看測(cè)量結(jié)果和曲線(xiàn)，也可導(dǎo)出至電腦生成報(bào)告。
操作時(shí)需注意，樣品表面應(yīng)清潔無(wú)雜質(zhì)，避免劃傷測(cè)頭；裝夾樣品時(shí)避免用力過(guò)大導(dǎo)致樣品變形；測(cè)量完成后，需將測(cè)頭移動(dòng)至安全位置再取下樣品；定期清潔測(cè)量平臺(tái)和測(cè)頭，保持設(shè)備整潔。
設(shè)備維護(hù)方面，建議每月檢查導(dǎo)軌潤(rùn)滑情況，每季度校準(zhǔn)測(cè)頭零點(diǎn)，每年由專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行精度校驗(yàn)，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。
JS2000B 全自動(dòng)臺(tái)階儀以其自動(dòng)化的操作流程、穩(wěn)定的測(cè)量性能和廣泛的適用性，為精密制造領(lǐng)域的臺(tái)階測(cè)量提供了高效解決方案，適合對(duì)測(cè)量效率和精度有較高要求的企業(yè)和實(shí)驗(yàn)室使用。
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