ZYGO光學(xué)輪廓儀多用途形貌測量平臺

NewView™ 9000是ZYGO公司的一款經(jīng)典3D光學(xué)輪廓儀，以其靈活性和擴展性而受到關(guān)注。它為用戶提供了一個功能強大的平臺，以滿足從基礎(chǔ)研究到高精度工業(yè)檢測的多種需求。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用材：
NewView 9000采用模塊化設(shè)計，用戶可以根據(jù)實際應(yīng)用選擇不同的光源、物鏡、平臺和軟件模塊。系統(tǒng)主體為高剛性金屬結(jié)構(gòu)，光學(xué)隔震工作臺有效隔離了外部振動。其精密機械部件和高質(zhì)量光學(xué)元件確保了系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性和測量可重復(fù)性。

產(chǎn)品性能與用途：
該系統(tǒng)同樣基于CSI技術(shù)，并可選配多種物鏡，從而在橫向視野和分辨率之間取得平衡。它不僅能夠測量高度、粗糙度和臺階，還能進(jìn)行薄膜厚度分析（選配）和應(yīng)力 mapping。其用途廣泛，適用于微電子MEMS器件、精密光學(xué)表面、藍(lán)寶石襯底、金屬加工表面等多種樣品的高精度三維形貌分析。

使用說明：
用戶通過MetroPro®軟件控制NewView 9000。其操作流程包括樣品放置、選擇合適物鏡、自動或手動聚焦、設(shè)置掃描參數(shù)并執(zhí)行測量。系統(tǒng)的自動化程度高，可編程進(jìn)行多點、多區(qū)域的批量測量，非常適合進(jìn)行統(tǒng)計過程控制（SPC）。

主要參數(shù)表：

ZYGO光學(xué)輪廓儀多用途形貌測量平臺