產(chǎn)品概述

Sensofar S neox 是一款多功能光學(xué)輪廓測(cè)量系統(tǒng)，適用于微納米尺度表面形貌分析需求。該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)理念，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體、精密光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域的表面測(cè)量要求。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓測(cè)量系統(tǒng)

核心技術(shù)特點(diǎn)

多模式測(cè)量技術(shù)

• 集成共聚焦顯微鏡、干涉儀和白光垂直掃描三種測(cè)量技術(shù)

• 智能模式自動(dòng)識(shí)別功能

• 垂直分辨率可達(dá)亞納米級(jí)

• 水平分辨率最高0.5微米

光學(xué)系統(tǒng)配置

• 高數(shù)值孔徑物鏡組

• 自動(dòng)對(duì)焦與樣品導(dǎo)航系統(tǒng)

• 多視野無(wú)縫拼接功能

• 可選配不同放大倍率物鏡

智能分析平臺(tái)

• 自動(dòng)表面參數(shù)計(jì)算

• 三維形貌可視化分析

• 多區(qū)域?qū)Ρ葴y(cè)量功能

• 自定義分析模板設(shè)置

典型應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體器件表面缺陷檢測(cè)

2. 光學(xué)元件面形精度測(cè)量

3. MEMS器件三維形貌表征

4. 功能性涂層表面分析

5. 材料科學(xué)研究與質(zhì)量檢測(cè)

操作建議

• 建議在穩(wěn)定環(huán)境條件下使用

• 測(cè)量前進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)

• 根據(jù)樣品特性選擇測(cè)量模式

• 特殊樣品可能需要參數(shù)優(yōu)化

技術(shù)支持

Sensofar提供以下專(zhuān)業(yè)服務(wù)：

• 系統(tǒng)安裝與操作培訓(xùn)

• 測(cè)量方法開(kāi)發(fā)指導(dǎo)

• 定期維護(hù)校準(zhǔn)支持

• 軟件功能升級(jí)服務(wù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

Sensofar S neox 通過(guò)其多技術(shù)融合的測(cè)量能力和智能化分析功能，為表面形貌表征提供了靈活的解決方案，適用于需要高精度表面分析的研發(fā)和質(zhì)量控制場(chǎng)景。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓測(cè)量系統(tǒng)