核心技術(shù)特點(diǎn)

1. 成像系統(tǒng)

• 采用高亮度CeB6電子槍，提供穩(wěn)定的電子束源

• 分辨率可達(dá)3.0nm@30kV（二次電子模式）

• 加速電壓范圍：1-30kV，多檔可調(diào)

2. 樣品處理系統(tǒng)

• 樣品室尺寸：Φ150mm×H80mm

• 最大樣品尺寸：直徑100mm

• 五軸電動(dòng)樣品臺(tái)，移動(dòng)精度±1μm

3. 檢測(cè)系統(tǒng)

• 標(biāo)配二次電子探測(cè)器(SE)

• 可選配背散射電子探測(cè)器(BSE)

• 真空系統(tǒng)：分子泵+隔膜泵組合

操作與軟件系統(tǒng)

1. 控制系統(tǒng)

• 集成化觸摸屏操作界面

• 全中文操作軟件

• 自動(dòng)對(duì)中、自動(dòng)聚焦功能

2. 分析功能

• 實(shí)時(shí)圖像采集與處理

• 基本尺寸測(cè)量功能

• 圖像拼接與景深擴(kuò)展

典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 材料科學(xué)研究

• 金屬/陶瓷微觀結(jié)構(gòu)觀察

• 納米材料形貌表征

• 復(fù)合材料界面分析

2. 工業(yè)質(zhì)量控制

• 電子元器件表面檢測(cè)

• 涂層/鍍層質(zhì)量評(píng)估

• 失效分析

3. 教育培訓(xùn)

• 電子顯微學(xué)教學(xué)演示

• 科研入門設(shè)備

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 空間效率：緊湊型設(shè)計(jì)，占地面積僅0.5m2

2. 操作便捷：簡(jiǎn)化樣品制備流程，降低使用門檻

3. 性價(jià)比優(yōu)勢(shì)：相比傳統(tǒng)電鏡具有更低的購(gòu)置和維護(hù)成本

4. 維護(hù)簡(jiǎn)便：模塊化設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件易于更換

技術(shù)參數(shù)對(duì)比

適用用戶群體

• 中小型實(shí)驗(yàn)室

• 企業(yè)QC部門

• 教育機(jī)構(gòu)

• 需要快速電鏡服務(wù)的用戶

總結(jié)

ZEM15C臺(tái)式掃描電鏡在分辨率、操作便捷性和空間效率等方面取得了良好平衡，特別適合對(duì)設(shè)備體積敏感且不需要超高分辨率的應(yīng)用場(chǎng)景。該產(chǎn)品為傳統(tǒng)電鏡用戶提供了更具靈活性的選擇，同時(shí)也為電鏡技術(shù)普及提供了新的可能。澤攸科技ZEM15C臺(tái)式掃描電鏡技術(shù)解析與應(yīng)用澤攸科技ZEM15C臺(tái)式掃描電鏡技術(shù)解析與應(yīng)用