西班牙Sensofar三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀

Sensofar S neox：開啟三維共焦白光干涉測(cè)量新時(shí)代

在科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)的廣袤領(lǐng)域中，高精度的表面測(cè)量技術(shù)始終是推動(dòng)創(chuàng)新與進(jìn)步的關(guān)鍵力量。西班牙 Sensofar 公司匠心打造的 S neox 三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀，宛如一顆璀璨的明星，憑借其性能、創(chuàng)新的技術(shù)和廣泛的適用性，在眾多測(cè)量設(shè)備中脫穎而出，為各行業(yè)帶來(lái)了測(cè)量體驗(yàn)與解決方案。

一、突破速度極限，大幅提升效率

S neox 在設(shè)計(jì)之初便將速度提升作為核心目標(biāo)，通過(guò)采用全新智能且獨(dú)算法，搭配新型相機(jī)，成功實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)采集速度高達(dá) 180fps 的驚人突破。相較于以往的測(cè)量系統(tǒng)，其標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量采集速度快了 5 倍之多，一躍成為市場(chǎng)上速度最快的表面測(cè)量系統(tǒng)。在科研項(xiàng)目中，時(shí)間就是進(jìn)展的保障，S neox 能夠在短時(shí)間內(nèi)獲取大量精確數(shù)據(jù)，極大地提高了實(shí)驗(yàn)效率，助力科研人員更快地推進(jìn)項(xiàng)目進(jìn)程。在工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量檢測(cè)環(huán)節(jié)，快速的測(cè)量速度意味著能夠在更短時(shí)間內(nèi)完成更多產(chǎn)品的檢測(cè)，有效提升生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。

二、四合一測(cè)量技術(shù)，鑄就強(qiáng)大多功能性

Sensofar 的四合一測(cè)量技術(shù)堪稱 S neox 的一大核心亮點(diǎn)。在其傳感器頭中，巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面疊加和膜厚測(cè)量等多種先進(jìn)測(cè)量技術(shù)。只需輕松點(diǎn)擊一次，系統(tǒng)便能依據(jù)當(dāng)前測(cè)量任務(wù)的具體需求，自動(dòng)智能地切換到最為適配的最佳技術(shù)。這種強(qiáng)大的多功能性使得 S neox 能夠輕松應(yīng)對(duì)幾乎所有類型的表面形貌測(cè)量，無(wú)論是不同材質(zhì)、結(jié)構(gòu)，還是表面粗糙度和波度的測(cè)量，它都能精準(zhǔn)勝任。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，對(duì)于芯片表面微納結(jié)構(gòu)的測(cè)量，共聚焦技術(shù)可發(fā)揮其高橫向分辨率的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的精確測(cè)量；而對(duì)于光學(xué)鏡片表面的平整度檢測(cè)，干涉技術(shù)又能憑借其納米級(jí)的縱向分辨率，提供高精度的測(cè)量結(jié)果。

三、高精度測(cè)量，保障數(shù)據(jù)可靠性

對(duì)于科研和工業(yè)應(yīng)用而言，測(cè)量精度無(wú)疑是至關(guān)重要的。S neox 在精度方面表現(xiàn)，共聚焦技術(shù)的橫向分辨率可達(dá) 0.10um，能夠清晰分辨樣品表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)，為關(guān)鍵尺寸的測(cè)量提供了可靠保障。其共聚焦算法確保了 Z 軸測(cè)量重復(fù)性處于納米范疇，在進(jìn)行高精度表面高度測(cè)量時(shí)，能夠提供穩(wěn)定且準(zhǔn)確的結(jié)果。白光干涉技術(shù)作為一種納米級(jí)測(cè)量精度的表面高度形貌測(cè)量技術(shù)，在任何放大倍數(shù)下都能保證納米級(jí)的縱向分辨率，能夠精準(zhǔn)還原各種表面的真實(shí)形貌。在材料研究中，對(duì)于材料微觀表面的粗糙度和微觀結(jié)構(gòu)的測(cè)量，S neox 的高精度測(cè)量性能能夠?yàn)檠芯咳藛T提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持，助力深入了解材料性能與微觀結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系。

四、創(chuàng)新設(shè)計(jì)，測(cè)量新體驗(yàn)

S neox 的測(cè)量頭采用了無(wú)運(yùn)動(dòng)部件的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，這一設(shè)計(jì)極大地提升了系統(tǒng)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和測(cè)量重復(fù)性。無(wú)需擔(dān)心因運(yùn)動(dòng)部件的磨損而影響測(cè)量精度，為用戶提供了更加可靠的測(cè)量保障。同時(shí)，該儀器配備了四個(gè)具有長(zhǎng)使用壽命的 LED 光源，不僅避免了激光光源可能產(chǎn)生的散斑現(xiàn)象，而且其使用壽命長(zhǎng)達(dá)約 50000 小時(shí)，是激光光源的約 25 倍。多個(gè) LED 光源還能根據(jù)樣品的不同需求，靈活選擇最合適的波長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)量，進(jìn)一步提升了測(cè)量的準(zhǔn)確性和適應(yīng)性。在搭配 SensoSCAN 軟件系統(tǒng)后，用戶能夠享受到難以置信的直觀操作體驗(yàn)，從設(shè)備的基本操作到高級(jí)功能的應(yīng)用，都能輕松上手，大大降低了操作門檻，提高了工作效率。

Sensofar S neox 三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀以其在速度、多功能性、精度和設(shè)計(jì)等方面的表現(xiàn)，為半導(dǎo)體、光學(xué)加工、材料研究、生物醫(yī)學(xué)等眾多領(lǐng)域提供了強(qiáng)大而可靠的測(cè)量解決方案。它不僅能夠滿足當(dāng)前各行業(yè)對(duì)于高精度表面測(cè)量的嚴(yán)苛需求，更為未來(lái)的科研探索與工業(yè)創(chuàng)新提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。相信在 S neox 的助力下，各行業(yè)將在微觀世界的探索中邁出更加堅(jiān)實(shí)的步伐，取得更多突破性的成果。

4、輕松定位樣品

XY 平臺(tái)的行程范圍達(dá)125 mm x 75 mm，可輕松放置及定位樣品，并使用與光軸完*對(duì)齊的尖*傾斜平臺(tái)輕松調(diào)平樣品。

5、多種物鏡選擇

在操作過(guò)程中，可使用6位電動(dòng)鼻輪隨時(shí)切換物鏡，體驗(yàn)無(wú)限可能。從多種兼容鏡頭中進(jìn)行選擇，包括具有長(zhǎng)焦鏡頭和水鏡等特定選項(xiàng)。

西班牙Sensofar三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀