在高端制造、半導體、精密光學、微納加工、材料科學等對表面精度要求極高的領域，傳統(tǒng)檢測設備已難以滿足納米級三維形貌測量需求。Sensofar白光干涉儀憑借非接觸、高精度、快速度、三維成像等核心優(yōu)勢，成為超精密表面表征的設備，為微納尺度測量提供完整解決方案。
 

　　Sensofar白光干涉儀基于白光垂直掃描干涉原理，利用寬光譜白光在被測表面形成干涉條紋，通過高精度位移臺與高速相機采集干涉信號，精準重構樣品三維形貌。儀器可實現(xiàn)亞納米級分辨率，對表面粗糙度、平面度、臺階高度、微結構形貌、薄膜厚度等實現(xiàn)無損傷、高精度定量測量，不破壞樣品，適合 fragile、柔軟、高反光或超光滑表面。
 

　　設備支持多物鏡智能切換，從低倍大視野到高倍超精密測量一鍵切換，兼顧檢測效率與精度。搭配高性能圖像處理算法，可快速去除噪聲、優(yōu)化形貌、自動提取關鍵參數(shù)，數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。同時具備共聚焦、干涉、景深擴展成像等多模態(tài)測量能力，一臺設備滿足多樣品、多場景檢測需求，大幅提升實驗室與產(chǎn)線檢測效率。
 

　　在半導體與微電子領域，可精準測量晶圓、光刻結構、MEMS 器件的微觀形貌與尺寸；在精密光學行業(yè)，用于光學鏡片、透鏡、鍍膜表面質(zhì)量檢測；在汽車、航空、刀具等高端制造中，對精密零部件表面粗糙度與微觀結構進行嚴格質(zhì)控。
 

　　Sensofar白光干涉儀以超高精度、非接觸、快速度、真三維、多場景適配等核心技術優(yōu)勢，成為納米級超精密測量的選擇設備，為高端研發(fā)與精密制造提供可靠計量支撐。